ESD静电防护作业规范

1.0目的

规范公司产品作业之相关防护过程，使产品承受之静电有害影响降至最小而不致有破坏性的损害。

2.0范围

公司从进料至出货的全作业过程，包括运送、贮存及检查。

3.0职责

3.1工程部

3.1.1工程部主管负责本规范的维护；

3.1.2负责静电防护评估及防静电设备导入;

3.2品质部

3.2.1负责按本规范实施监控及宣导；

3.2.2对不合格ESD设备可予禁用;

3.3各部门依本规范实施运作。

4.0定义

4.1静电：静止存在的电荷即静电。

4.2静电敏感材料：本规范定义为所有半导体非线性器件，包括：二极体、三极体、晶闸体、IC、光电器件、电声器件以及有上述器件存在并裸露的组件等。

5.0参考资料

5.1静电的产生

5.1.1静电产生有三个途径：磨擦起电、物体的接触与分离（含流动）、感应生电。

5.1.2静电无处不在，静电无时不在。

5.2静电特性

5.2.1静电能量小，一般只有毫焦（MJ）级；

5.2.2静电电压高，如皮带传动所产生的静电可达60~KV，一般办公室桌面静电电压可达V。

5.2.3静电具有感应性：即一个带有静电的物体，靠近另一物体时，另一物体也将形成具有相反电势的静电。

5.2.4静电的积聚性：一个物体产生静电后，如果没有相应的泄放途径，其静电将一直存在并不断积累面升高，直至达到极限值后通过放电形式来泄放。

5.2.5静电的屏蔽性：即一个接地的空心金属体，可以将其内部的电势与外部隔离，而不受外部影响。

5.3静电的危害

5.3.1任何事物都有它的正反两面，静电在为人们所利用（如静电喷涂、静电植绒）的同时，也存在很多负面影响，特别是电子行业，半导体非线性器件多数为静电敏感器件，在制过程中如防护不当，极易造成功能性损坏或隐性功能下降。

5.3.2静电的危害以放电形式产生，静电放电分为电晕放电、刷形放电、火花放电三种。其危害程度依次由弱渐强。

5.4静电材料

5.4.1将常用物质按其易静电产生与积聚的程度由大至小可排列如下：

+→玻璃→锦纶→羊毛→丝绸→粘胶纤维→棉→纸→麻→钢铁→硬橡胶→醋酸纤维→合成橡胶→涤纶→晴纶→氯纶→聚乙烯→赛璐珞→玻璃纸→聚氯乙烯→聚四氟乙烯→—

5.4.2一般情况下，体积电阻率大于Ω·cm3的液体及表面电阻率大于Ω·cm2的固体均为易产生静电的材料。

5.4.3对防静电鞋底的电阻要求为：小于0.5×~1.0×Ω内,且所处地面电阻不应大于1.5×Ω.

5.4.4对防静电服的要求为：带电电荷量小于0.6μc

面料的电荷密度小于0.7μc/m2。

另外耐洗涤次数大于次为A级，大于50次为B级。

6.0规范

6.1接地

6.1.1总接地要求

6.1.1.1总接地点应选择适当，在便于安装的情况下，应至少远离电力保护接地及防雷接地5M以上距离。

6.1.1.2防静电接地点不可与电力工作接地、电力保护接地及防雷接地等系统共用接地点。

6.1.1.3总接地采用平板接地方式，使用mm×mm×10mm之镀锌铜板或钢板，平板以水平方式入地，要求板上平面与地表深度达1.5m以上，同时平板周围应辅以长效降阻剂等有效措施（详见附页接地平面图）。

6.1.1.4接地总引出线之截面积不应小于15mm2。其埋于地下之部份应进行抗氧化处理（涂漆、附带绝缘护套等）。

6.1.1.5接地总引出线与接地平板之间的连接应采用非钎接形式的焊接，不充许采用铆接、压接等其它连接方式。

6.1.1.6接地引出线之接地电阻不充许大于4Ω。

6.1.2接地电阻的简易测量。

6.1.2.1如图，在距总接地引出线点A左右各3m处采用截面积2.5cm2长1m的金属

6.1.2.2将万用表置于适当之挡位，分别测量Rab、Rac、Rbc三点间的电阻并记录。

6.1.2.3计算：

因Rab=Ra+RbRac=Ra+RcRbc=Rb+Rc

则Ra=（Rab+Rac—Rbc）/2

6.1.2.4总接地电阻要求每月定期测量一次，由工程ME技术员执行，并记录于《总地电阻定期检查记录表》（见附表一）上。

6.1.3接地设施

6.1.3.1从地面引至工作楼层的纵向接地干线的截面积不得小于15mm2，不充许纵向干线上存在任何断头接点，必须为完整无接点干线。

6.1.3.2每个工作楼层的横向分支干线之截面积不得小于10mm2，分支干线与主纵向干线的连接点须采用焊接或其他可靠连接方法，并满足连接阻抗小于0.1Ω，同时采用抗氧化、抗外力等措施，确保连接可靠。

6.1.3.3工作地线之截面积不得小于2mm2，工作地线与分支干线应可靠连接。工作地线不得与电力工作地线、电力保护接地（接零）互相通连或多点短接；工作地线为设备接地时，不得与设备之保护接地（接零）共用一个接地点。

6.1.3.4工作地线之裸露部份应及时清理检查,防止因裸露氧化导致接触不良;静电手带或电烙铁接入时,要求将接入夹滑擦几次或香蕉头拔插几次.

6.1.3.5静电工作台面、地板与工作地线的连接应串接一1MΩ~1.5MΩ,1/4W以上的限流电阻。防止当总接地点不良或静电地线与电力线相碰时对人体的冲击。

6.2贮存与周转

6.2.1所有的静电敏感器件均应得到妥善的贮存与周转。

6.2.2各种静电敏感器件进料时均必须使用防静电包装，仓库接收静电敏感器件时，应审视其包装是否符合ESD防护要求（特别是尾数包装），符合要求方可入库；如不符要求，可先行按6.2.3的标准和作业规程更换包装入库，同时知会采购部主管和IQC检验人员，由采购部通知供应商改善，IQC人员加严检验标准并记录。

6.2.3对静电敏感器件来料防护包装的要求：

所有接触器件的内包装均应为静电耗散型或静电屏蔽型材料，并达到5.4.2的要求。

所有内包装均应封口或不易开裂，可以防止无意中外物的接触。

所有内包装均应空间适当，使内部器件不至有过分的相对位移而磨擦产生静电。

内包装的强度不足以支持其机械包装强度时，应有相应的外包装，此包装应合产品跌落性实验标准。

所有能独立分割保存的包装（含内包装与外包装）均应有明显的静电警示标志。

6.2.4货仓应建立专门的ESD库存区，存放静电敏感器件。

6.2.5对ESD库存区的要求：

ESD库存区与其它库存区应有明显的分隔线或标志；

在进入ESD库存区的所有通道均应有明显的警示

在ESD库存区设置温湿度计，监控库存区湿度，当相对湿度低于30%时，应特别小心作业。

6.2.6ESD静电敏感器件上线后，相应的物料员、拉组长应根据当日生产需求分批取放至生产线，一般以4小时工作段为宜，不可一次投放量过多，使静电敏感器件脱离原始包装长时间裸露未予作业。

6.2.7盛放含有ESD敏感器件的半成品的容器，应采用放静电材料或铺放防静电衬垫。且应有序整齐分层摆放，不可乱堆乱放；每一容器内不可盛放太多。

6.2.8上线后未有进行作业的剩余ESD敏感器件，应使用该器件之原始包装材料再次包装保存。

6.3作业

6.3.1作业动作应尽量防止或限制静电的产生。应从如下方面加以注意：

l尽可能地减少物体的接触与分离的次数，不必搬动的尽量少搬运，加强品质控制，减少物品的返工动作。

l要求对物品的取放应采用非“拿”即“放”的动作，禁止“推”或“滑”的动作，意在减少磨擦产生的静电。

l要对物品进行容器转移时，应尽量转移至同样材料或相接近的材料容器内，材料类别参照5.4.1。

6.3.2尽量减少人体的静电积累，应从如下方面加以遵守：

l上班作业前触摸车间入口处的静电释放球或洗手，利用接地导体或流水带走部分人体静电；

l将长头发捆扎成束，不得披发垂肩，头发的磨擦极易产生静电；

l按要求着工作服，内衣参照5.4.1少穿羊毛、丝绸等易产生静电的衣服；

6.3.3对固定工作岗位的作业人员，应正确佩带有绳静电手腕带，手腕带应可靠连接于工作地线上；

静电手腕带应由IPQC每4小时进行一次检测，检测结果记录于《静电手腕带检测记录表》上；

当检测发现手腕带异常时，IPQC应立即通知工程ME技术员采取维修、更换等方法使恢复正常，同时IPQC对此工序上时段的作业产品进行追踪，并向相关下工序（工段）的管理人员发出预警信息。

6.3.4对于需偶尔接触ESD器件的流动性工作人员（如巡检员，管理人员等）可佩带无绳静电手腕带作业。

无绳静电手腕带因暂无检测手段，要求每三个月更换一次，由工程ME技术员监控执行，并记录。

6.3.5静电手腕带的佩带方法：

检查手腕带金属部份应无污垢、锈蚀等现象；连接扣应灵活且可靠。

将手腕带金属外露面贴住手腕腕部肌肤，使金属面至少80%以上接触皮肤；

当调节松紧带或魔术贴，使贴紧程度适中，感觉舒适，活动灵活。

不充许将手腕带隔着衬衣、护腕、橡皮绳等佩带而不与皮肤可靠接触。

手腕带接地线应可靠接入工作地线。

6.3.6静电手腕带的检测方法：

检视静电手腕带检测仪的校准标签，应处于核准有效期内；

将检测仪配备的校准线之香蕉头接入检测仪，另一端握于手中，用另一只手按压测试金属体，仪器“LOW”红色指示灯应点亮；脱开校准线，用一只手按压测试金属体，仪器“HIGE”红色指示灯应点亮，此时表明检测仪基本正常，可投入使用；

将检测仪校准线之香蕉头接入检测仪，另一端可靠连入工作地线，要求被测手腕带使用人用手掌心自然按压测试金属体，如“GOOD”绿色指示灯点亮，同时蜂鸣器鸣响，则表示此手腕带接地良好；否则将视为不良。

6.4工装与设备

6.4.1涉及有关ESD敏感器件及其半成品作业的相关设备务必接地。这些设备包但不限于如下种类：波峰焊机、切脚机、回流焊机、贴片机等。

6.4.2对于经常移动使用的设备（含仪器），无法固定接地的，应将其置于防静作台面上作业，将设备或仪器的接地柱与防静电工作台可靠接触。

6.4.3对于电烙铁，应设置带可靠接地线的三芯电源线，与电源系统的保护接地或接零连接；或增设外露导体接地线，可靠连接于工作地线上。IPQC每四小时进行一次检测，检测结果记录于《电烙铁接地检查记录表》上。

电烙铁的检查方法与静电手腕带的检测方法相同。当发现某工作地线手腕带检测能通过而电烙铁检测通不过，则应考虑此工段的保护接地或接零是否断路；如电烙铁能通过而手腕带通不过，则应考虑相应工段防静电工作地线是否断路。

6.4.4将防静电接地之要素纳入设备的《日常保养检查记录表》，由日常保养人员进行日常检查工作。

6.4.5对涉及ESD器件作业的工序或工段（ESD器件成型、PCBA作业、PCBA维修、PCBA装配等），其工作平台和传动输送带应采用抗静电性材料；或铺垫防静电垫且可靠接地。

6.5环境

6.5.1将涉及ESD作业区域设置为静电保护区（静保区）。静保区应有醒目的分隔标识以示与其它区域的区分。

6.5.2非静保区的工作人员不得无故逗留于静保区；非经常性的工作人员应处理完工作即毕即走。

6.6培训

6.6.1工程部应编制合适且通俗易懂的培训教材，以进行相关的培训工作。

6.6.2培训教材可做为参考文件分发相关部门拉长及组长级管理人员，并由这些管理人员对所辖作业人员进行在职培训。

6.6.3工程部配合行政部将ESD防护培训纳入年度培训计划并执行。

7.0附件

7.1《总接地电阻定期检查记录表》

7.2《手腕带使用点检记录表》

7.3《电烙铁使用点检记录表》

7.4《无绳手腕带定期更换回收记录表》

7.5静电警示标识

7.6防静电接地平面图

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