羰基氟氟光气氟化羰碳酰氟氟氧化碳

羰基氟，又名氟光气、氟化羰、碳酰氟、氟氧化碳、氧氟化碳等。SK--COF2-F高毒刺激性气体，对皮肤及呼吸道黏膜具有强烈的刺激作用。能溶于水和羰基氟。分子量66.01。车间空气有害物质接触限值：ACGIH5.4mg/m3=2PPM=2umol/mol。短时间接触限值：ACGIH13mg/m3≈4.82PPM=4.82umol/mol。

羰基氟的用途

用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。

羰基氟的日常防护

储存防护：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。保持容器密封。应与氧化剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。应严格执行极毒物品“五双”管理制度。

操作防护：穿密闭型防毒服。戴橡胶手套。空气中浓度超标时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。紧急事态抢救或撤离时，应该佩戴空气呼吸器。工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。注意检测毒物。

硬件预防羰基氟

在线式羰基氟（COF2）检测仪由气体检测报警控制器和固定式羰基氟（COF2）检测器组成，对各监测点进行监测控制，羰基氟（COF2）检测器安装于气体最易泄露的地点，其核心部件为气体传感器。羰基氟（COF2）检测器将传感器检测到的羰基氟（COF2）浓度转换成电信号，通过线缆传输到气体检测报警控制器，气体浓度越高，电信号越强，当气体浓度达到或超过报警控制器设置的报警点时，气体检测报警控制器发出报警信号，并可启动电磁阀、排气扇等外联设备，自动排除隐患。

便携式羰基氟（COF2）气体检测仪配置了一个小型气泵，其工作方式是电源带动气泵对待测区域的气体进行抽气采样，然后将样气送入仪表进行检测。羰基氟检测仪的特点是检测速度快，对现对危险的区域可进行远距离测量，维护人员安全，其它和扩散式气体检测仪一样。扩散式气体检测仪顾名思义是被检测区域的气体随着空气的自由流动缓慢的将样气流入仪表进行检测。这种方式受检测环境的影响，如环境温度、风速等。扩散式气体检测仪特点是成本低。羰基氟检测仪与扩散式气体检测仪的工作原理基本一样，通过仪器的传感器对样气检测然后通过电路放大整理转换成对应的数值显示在屏幕上。

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